[发明专利]防串扰红外探测器像元结构及其制备方法

摘要

本发明提供了一种防串扰红外探测器像元结构及其制备方法，通过在红外探测结构的边缘设置凹槽结构，利用凹槽结构来吸收和反射入射到凹槽结构侧壁的红外光，从而防止入射的红外光进入到其它像元结构中，避免了像元之间的相互串扰，提高了器件的灵敏度和准确度。

主权项

一种防串扰红外探测器像元结构，位于一硅衬底上，其特征在于，所述防串扰红外探测器像元结构具有红外探测结构，所述红外探测结构边缘区域具有凹槽结构，凹槽结构用于吸收和反射入射到凹槽结构侧壁的红外光；所述红外探测结构具有主体和边缘，所述凹槽结构作为所述红外探测结构的边缘呈沟渠状不封闭的环绕所述红外探测结构的主体。