[发明专利]等离子化学气相沉积装置

摘要

等离子化学气相沉积装置包括腔室(12)、具有伸长形状的第一导体(20)、具有管状形状的第二导体(30)、高频输出装置(45)和直流电源(46)。第一导体(20)的与高频输出装置(45)连接的第一连接部(23)以及第一导体(20)的与直流电源(46)连接的第二连接部(24)均被放置在腔室(12)的外侧。从第一导体(20)的一端到第一连接部(23)的距离短于从第一导体(20)的所述一端到第二连接部(24)的距离。在第一导体(20)中在第一连接部(23)和第二连接部(24)之间设置阻抗变化部(25)，阻抗变化部具有的阻抗不同于在第一导体(20)的所述一端与第一连接部(23)之间的阻抗。

主权项

一种等离子化学气相沉积装置，其特征在于包括：腔室(12)，所述腔室(12)被构造成在所述腔室(12)的内部容纳工件(W)，所述腔室(12)被构造成通过在所述腔室(12)的内部将过程气体转变成等离子来分解所述过程气体，使得膜沉积在所述工件(W)上；第一导体(20)，所述第一导体(20)具有伸长形状，所述第一导体(20)被构造使得一端与所述腔室(12)的内部的所述工件(W)接触并且另一端被放置在所述腔室(12)的外部；第二导体(30)，所述第二导体(30)具有管状形状，所述第二导体(30)与所述第一导体(20)同轴地放置，使得所述第一导体(20)被放置在所述第二导体(30)的内侧；高频输出装置(45)，所述高频输出装置(45)被连接到所述第一导体(20)和所述第二导体(30)，所述高频输出装置(45)被构造成使微波流经所述第一导体(20)的表面；以及直流电源(46)，所述直流电源(46)被构造成将直流电压输出到所述第一导体(20)，其中：所述第一导体(20)的与所述高频输出装置(45)连接的第一连接部(23)以及所述第一导体(20)的与所述直流电源(46)连接的第二连接部(24)均被放置在所述腔室(12)的外侧；从所述第一导体(20)的所述一端到所述第一连接部(23)的距离短于从所述第一导体(20)的所述一端到所述第二连接部(24)的距离；并且在所述第一导体(20)中在所述第一连接部(23)和所述第二连接部(24)之间设置阻抗变化部(25)，所述阻抗变化部(25)具有的阻抗不同于在所述第一导体(20)的所述一端与所述第一连接部(23)之间的阻抗。