[发明专利]等离子体处理装置、等离子体处理方法以及存储介质

摘要

本发明提供一种等离子体处理装置、等离子体处理方法以及存储介质。在使用多个高频电源进行等离子体处理的等离子体处理装置中，在至少一个高频电源中产生过大反射波时，停止该高频电源输出的同时，瞬间停止其他高频电源的输出。多个高频电源分别具备：振荡器、通信部、通过该通信部接收停止信号并停止振荡器输出的输出停止部，上述多个高频电源中的至少一个高频电源的输出停止部监视从该高频电源振荡器输出的高频，在高频异常时停止该振荡器的输出，同时，向上述通信部输出停止信号。而且，为了将来自上述监视部的停止信号直接发送到其他高频电源，将上述至少一个高频电源的通信部和其他高频电源的通信部连接。

主权项

1. 一种等离子体处理装置，具备与等离子体相关的多个高频电源，通过等离子体对处理容器内的被处理体进行处理，其特征在于：所述多个高频电源分别具备：振荡高频的振荡器；用于与外部通信的通信部；和通过该通信部接收到停止信号时、停止振荡器输出的输出停止部，所述多个高频电源中至少一个高频电源的输出停止部由监视部构成，该监视部在检测出从该高频电源的振荡器输出的高频异常时，停止该振荡器的输出，并且，向所述通信部输出停止信号，所述至少一个高频电源的通信部和其他高频电源的通信部直接向其他高频电源发送来自所述监视部的停止信号。