[发明专利]一种抛光液供应系统及方法在审
| 申请号： | 201610451540.0 | 申请日： | 2016-06-21 |
| 公开（公告）号： | CN107520759A | 公开（公告）日： | 2017-12-29 |
| 发明（设计）人： | 赵厚莹 | 申请（专利权）人： | 上海新昇半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | B24B57/02 | 分类号： | B24B57/02 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所(普通合伙)31219 | 代理人： | 余明伟 |
| 地址： | 201306 上海市浦东*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种抛光液供应系统及方法包括至少一纯水供应装置及原液供应装置，所述纯水供应装置及所述原液供应装置连接于至少一第一储液装置及至少一第二储液装置，所述第一储液装置及所述第二储液装置连接于至少一抛光机。本发明提供一种抛光液供应系统及方法，用于解决现有技术中抛光液供应系统空间占用大，制作成本较高，使用不方便等问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 抛光 供应 系统 方法 | ||
【主权项】：
一种抛光液供应系统，其特征在于，所述抛光液供应系统包括：至少一纯水供应装置及至少一原液供应装置，所述纯水供应装置及所述原液供应装置连接于至少一第一储液装置及至少一第二储液装置，所述第一储液装置及所述第二储液装置连接于至少一抛光机。
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