[发明专利]两维激光光路齿轮测量装置有效
| 申请号： | 201610443808.6 | 申请日： | 2016-06-21 |
| 公开（公告）号： | CN107525464B | 公开（公告）日： | 2020-05-22 |
| 发明（设计）人： | 薛梓;林虎;黄垚;杨国梁;王鹤岩 | 申请（专利权）人： | 中国计量科学研究院 |
| 主分类号： | G01B11/00 | 分类号： | G01B11/00;G01B11/14;G01B11/24 |
| 代理公司： | 北京慕达星云知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11465 | 代理人： | 李冉 |
| 地址： | 100029 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了两维激光光路齿轮测量装置。所述装置包括主运动轴系、光路跟踪调整轴系、激光干涉测量系统三部分，主运动轴系包括转台及三个直线运动轴系，主运动轴系按测量规划路径进行运动，执行整个测量过程的各种动作。光路跟踪调整轴系的三个直线运动轴跟随主运动轴系同步运动，保证激光光路不断光并处于准直状态。激光干涉测量系统具有X、Z两维激光测长光路，且布置在齿轮被测点附近，可直接测量齿轮的多个误差项。所述装置测量链短，测量精度高，柔性强，可满足齿轮误差的直接溯源测量。 | ||
| 搜索关键词： | 激光 齿轮 测量 装置 | ||
【主权项】：
两维激光光路齿轮测量装置包括主运动轴系、光路跟踪调整轴系、激光干涉测量系统三部分。
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