[发明专利]机械手臂的监控系统及监控方法在审
| 申请号： | 201610428174.7 | 申请日： | 2016-06-16 |
| 公开（公告）号： | CN107516641A | 公开（公告）日： | 2017-12-26 |
| 发明（设计）人： | 赵旭良 | 申请（专利权）人： | 上海新昇半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/67 | 分类号： | H01L21/67 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙)31237 | 代理人： | 金华 |
| 地址： | 201306 上海市浦东*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种机械手臂的监控系统及监控方法，其中，所述监控系统包括感应单元以及数据处理单元，所述感应单元用于获取机械手盘的位置信息，并将所述位置信息发送至数据处理单元，所述数据处理单元用于根据其所接收到的位置信息判断所述机械手盘的位置是否存在偏差。通过本发明提供的机械手臂的监控系统及监控方法，可在不影响机械手臂的生产作业的基础上，仍能对机械手臂的精度进行监控，一方面可确保基板的取放安装，另一方面也可及时的发现异常，进而避免异常的扩大化。 | ||
| 搜索关键词： | 机械 手臂 监控 系统 方法 | ||
【主权项】：
一种机械手臂的监控系统，所述机械手臂包括一用于承载基板的机械手盘，其特征在于，所述监控系统包括：一感应单元以及一数据处理单元，其中，所述感应单元用于获取所述机械手盘的位置信息，并将所述位置信息发送至数据处理单元；所述数据处理单元用于根据其所接收到的位置信息判断所述机械手盘的位置是否存在偏差。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
