[发明专利]高Q因子电感器结构和包括其的RF集成电路在审
申请号: | 201610392789.9 | 申请日: | 2016-06-06 |
公开(公告)号: | CN106783808A | 公开(公告)日: | 2017-05-31 |
发明(设计)人: | 崔祯训 | 申请(专利权)人: | 爱思开海力士有限公司 |
主分类号: | H01L23/64 | 分类号: | H01L23/64;H01L27/06 |
代理公司: | 北京弘权知识产权代理事务所(普通合伙)11363 | 代理人: | 李少丹,许伟群 |
地址: | 韩国*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 提供了高Q因子电感器结构和包括其的RF集成电路。电感器结构包括电感线,设置在绝缘层之上;上金属线,设置在绝缘层之上,并且与电感线间隔预定距离;第一下金属线和第二下金属线,第一下金属线和第二下金属线均设置在绝缘层中,并且在垂直方向上位于彼此不同的水平;下通孔,将第一下金属线耦接至第二下金属线;第一上通孔,将第二下金属线耦接至电感线;以及第二上通孔,将第二下金属线耦接至上金属线。 | ||
搜索关键词: | 因子 电感器 结构 包括 rf 集成电路 | ||
【主权项】:
一种电感器结构,包括:电感线,设置在绝缘层之上;上金属线,设置在绝缘层之上,并且与电感线间隔预定距离;第一下金属线和第二下金属线,第一下金属线和第二下金属线均设置在绝缘层中,并且在垂直方向上位于彼此不同的水平;下通孔,将第一下金属线耦接至第二下金属线;第一上通孔,将第二下金属线耦接至电感线;以及第二上通孔,将第二下金属线耦接至上金属线。
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