[发明专利]再生磷酸溶液的系统和方法及用于处理衬底的装置和方法在审
| 申请号： | 201610369957.2 | 申请日： | 2016-05-30 |
| 公开（公告）号： | CN106185854A | 公开（公告）日： | 2016-12-07 |
| 发明（设计）人： | 李昇浩;赵旼熙;姜基文;金兑根 | 申请（专利权）人： | 细美事有限公司 |
| 主分类号： | C01B25/237 | 分类号： | C01B25/237;H01L21/02;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京度衡知识产权代理有限公司 11601 | 代理人： | 杨黎峰;钟锦舜 |
| 地址： | 韩国忠*** | 国省代码： | 韩国;KR |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 公开了一种从包括硅(Si)、氟化氢(HF)和磷酸的处理液中再生磷酸溶液的方法，所述方法包括：通过向所述处理液供应对应于预设量或更多量的氟化氢而去除硅，通过将所述处理液加热到氟化氢的沸点或更高温度而去除所述氟化氢，和将所述磷酸的温度和浓度调节到预设值。 | ||
| 搜索关键词： | 再生 磷酸 溶液 系统 方法 用于 处理 衬底 装置 | ||
【主权项】：
一种从包括硅(Si)、氟化氢(HF)和磷酸的处理液中再生磷酸溶液的方法，所述方法包括：通过向所述处理液供应对应于预设量或更多量的氟化氢而去除所述硅；通过将所述处理液加热到氟化氢的沸点或更高温度而去除所述氟化氢；和将所述磷酸的温度和浓度调节到预设值。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于细美事有限公司，未经细美事有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201610369957.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种饲料级湿法磷酸深度净化方法
- 下一篇：一种提取脱硫废液中副盐的方法及系统
