[发明专利]再生磷酸溶液的系统和方法及用于处理衬底的装置和方法在审
| 申请号： | 201610369957.2 | 申请日： | 2016-05-30 |
| 公开（公告）号： | CN106185854A | 公开（公告）日： | 2016-12-07 |
| 发明（设计）人： | 李昇浩;赵旼熙;姜基文;金兑根 | 申请（专利权）人： | 细美事有限公司 |
| 主分类号： | C01B25/237 | 分类号： | C01B25/237;H01L21/02;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京度衡知识产权代理有限公司 11601 | 代理人： | 杨黎峰;钟锦舜 |
| 地址： | 韩国忠*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 再生 磷酸 溶液 系统 方法 用于 处理 衬底 装置 | ||
【说明书】：
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