[发明专利]正型感光性树脂组合物及其图案形成方法以及应用有效
申请号: | 201610334773.2 | 申请日: | 2016-05-19 |
公开(公告)号: | CN106200267B | 公开(公告)日: | 2020-01-03 |
发明(设计)人: | 庄国平;施俊安 | 申请(专利权)人: | 奇美实业股份有限公司 |
主分类号: | G03F7/008 | 分类号: | G03F7/008;G03F7/027;G02F1/1362 |
代理公司: | 11006 北京律诚同业知识产权代理有限公司 | 代理人: | 徐金国 |
地址: | 中国台湾台南*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | 本发明涉及一种正型感光性树脂组合物,包含酚醛清漆树脂(A)、邻萘醌二叠氮磺酸类的酯化物(B)、每分子具有至少六个(甲基)丙烯酰基的氨基甲酸乙酯(甲基)丙烯酸酯化合物(C)以及溶剂(D)。本发明还涉及由该正型感光性树脂组合物形成图案的方法,及其在薄膜晶体管阵列基板、液晶显示元件中的应用。上述的正型感光性树脂组合物具有良好的图案对比度及剥除性。 | ||
搜索关键词: | 感光性 树脂 组合 及其 图案 形成 方法 以及 应用 | ||
【主权项】:
1.一种正型感光性树脂组合物,其特征在于包含:/n酚醛清漆树脂(A),包含二甲酚型酚醛清漆树脂(A-1),其中该二甲酚型酚醛清漆树脂(A-1)是由醛类化合物与芳香族羟基化合物聚缩合所形成,该芳香族羟基化合物至少包含二甲酚类化合物,且基于聚缩合该二甲酚型酚醛清漆树脂(A-1)的芳香族羟基化合物的使用量为1摩尔,该二甲酚类化合物的使用量为0.2摩尔至0.4摩尔;/n邻萘醌二叠氮磺酸类的酯化物(B);/n每分子具有至少六个(甲基)丙烯酰基的氨基甲酸乙酯(甲基)丙烯酸酯化合物(C);以及/n溶剂(D)。/n
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