[发明专利]一种实现材料热整流的热整流器件及其制备方法有效

专利信息
申请号: 201610289374.9 申请日: 2016-05-04
公开(公告)号: CN105914190B 公开(公告)日: 2018-06-26
发明(设计)人: 郑金成;蔡云萍;王惠琼 申请(专利权)人: 厦门大学
主分类号: H01L23/373 分类号: H01L23/373;H01L21/48
代理公司: 厦门南强之路专利事务所(普通合伙) 35200 代理人: 马应森
地址: 361005 *** 国省代码: 福建;35
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摘要: 一种实现材料热整流的热整流器件及其制备方法,涉及热整流器件。热整流器件由上方形薄膜、下方形薄膜组成,样品设在上下方形薄膜之间;上方形薄膜上设有2个方形孔,上方形薄膜的厚度小于0.1mm,2个方形孔的长度均不超过上方形薄膜的边长的1/3,不小于边长的1/4;2个方形孔的宽度均不超过上方形薄膜边长的1/7,不小于边长的1/9;两方形孔的中心距离上方形薄膜中心的距离为上方形薄膜边长的1/5;下方形薄膜的中心设有方形孔,方形孔的边长为下方形薄膜边长的1/5。将上下方形薄膜的材料切割出大小边长相同的方形片,在上方形薄膜上刻蚀两个方形孔,在下方形薄膜上刻蚀一个方形孔;将上下方形薄膜贴合于样品正反面。
搜索关键词: 方形薄膜 方形孔 边长 整流器件 刻蚀 制备 材料切割 中心距离 方形片 正反面 贴合
【主权项】:
1.一种实现材料热整流的热整流器件,其特征在于由上方形薄膜、下方形薄膜组成,样品设在上方形薄膜与下方形薄膜之间;所述上方形薄膜上设有2个平行的上方形孔,上方形薄膜的厚度小于0.1mm,2个上方形孔的长度均不超过上方形薄膜的边长的1/3,并不小于上方形薄膜的边长的1/4;2个上方形孔的宽度均不超过上方形薄膜边长的1/7,并不小于上方形薄膜边长的1/9;2个上方形孔的两边均与上方形薄膜的两边平行,且两上方形孔的中心距离上方形薄膜中心的距离为上方形薄膜边长的1/5;所述下方形薄膜的中心设有下方形孔,所述下方形孔的边长为下方形薄膜边长的1/5。
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