[发明专利]显示面板、阵列基板及其制造方法在审
| 申请号： | 201610289121.1 | 申请日： | 2016-05-03 |
| 公开（公告）号： | CN106684091A | 公开（公告）日： | 2017-05-17 |
| 发明（设计）人： | 任东;王仁宏;彭思君;陈虹红 | 申请（专利权）人： | 上海和辉光电有限公司 |
| 主分类号： | H01L27/12 | 分类号： | H01L27/12;H01L21/77 |
| 代理公司： | 上海隆天律师事务所31282 | 代理人： | 臧云霄;潘一诺 |
| 地址： | 201506 *** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种显示面板、阵列基板及其制造方法，所述阵列基板包括：基板；多晶硅薄膜，位于所述基板上，所述多晶硅薄膜包括沿第一方向和第二方向排列的晶格，所述晶格的边界形成沿所述第一方向和所述第二方向延伸的晶界；以及多个薄膜晶体管，每个所述薄膜晶体管包括在所述多晶硅薄膜中形成的折线形沟道，所述折线形沟道包括多个相接的沟道部，每个沟道部的延伸方向与所述第一方向形成大于0度小于90度的第一夹角。本发明提供的显示面板、阵列基板及其制造方法，其能够通过改进沟道与晶界的方向来改进单个沟道电流的均一性。 | ||
| 搜索关键词： | 显示 面板 阵列 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种阵列基板，其特征在于，包括：基板；多晶硅薄膜，位于所述基板上，所述多晶硅薄膜包括沿第一方向和第二方向排列的晶格，所述晶格的边界形成沿所述第一方向和所述第二方向延伸的晶界；以及多个薄膜晶体管，每个所述薄膜晶体管包括在所述多晶硅薄膜中形成的折线形沟道，所述折线形沟道包括多个相接的沟道部，每个沟道部的延伸方向与所述第一方向形成大于0度小于90度的第一夹角。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的；包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的；包括有热磁组件的
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