[发明专利]压印设备、基板运送设备、压印方法以及物品制造方法

摘要

本发明提供一种压印设备、基板运送设备、压印方法以及物品制造方法。所述压印设备通过使基板上的压印材料和模具相互接触来形成图案。压印设备包括：基板保持单元，其利用包括多个局部区域的吸附单元来保持所述基板；移动单元，其包括所述基板保持单元；在与形成有所述图案的区域相对应的局部区域的吸附力被设置为比其他局部区域的吸附力弱的同时，进行脱模；获取单元，其获取表示所述基板与所述基板保持单元之间的位置关系的测量数据，所述测量数据的对象包括所述基板的端部和所述基板保持单元；以及处理器单元，其通过使用所获取的测量数据，获得对所述基板相对于所述基板保持单元的位置偏离进行校正的校正量。

主权项

一种压印设备，所述压印设备通过使基板上的压印材料与模具相互接触来在所述压印材料上形成图案，所述压印设备包括：基板保持单元，其利用包括多个局部区域的吸附单元来保持所述基板；移动单元，其包括所述基板保持单元并进行移动；在所述多个局部区域中的、与形成有所述图案的所述基板的区域相对应的局部区域的吸附力被设置为比其他局部区域的吸附力弱的状态下，进行脱模；获取单元，其获取表示所述基板与所述基板保持单元之间的位置关系的测量数据，所述测量数据的对象包括由所述基板保持单元保持的所述基板的端部和所述基板保持单元；以及处理器单元，其通过使用已经获取的所述测量数据，获得用来对形成有所述图案的所述基板相对于所述基板保持单元的位置偏离进行校正的校正量。