[发明专利]一种半导体处理装置

摘要

本发明提供一种半导体处理装置。该半导体处理装置包括反应腔、下电极、射频电源和阻抗匹配器，射频电源通过阻抗匹配器连接至位于反应腔内的下电极，还包括相位调节元件，相位调节元件串联于射频电源和阻抗匹配器之间，用于调节阻抗匹配器的输入阻抗，使其与射频电源的输出阻抗匹配，且相位调节元件的特征阻抗等于射频电源的输出阻抗。该半导体处理装置能将整个半导体处理装置中等离子体阻抗的变化调整为最小，从而使整个半导体处理装置的增益更加稳定，阻抗匹配器对反应腔内等离子体阻抗和射频电源输出阻抗的匹配更加快速准确，进而确保了半导体处理工艺结果。

主权项

1.一种半导体处理装置，包括反应腔、下电极、射频电源和阻抗匹配器，所述射频电源通过所述阻抗匹配器连接至位于所述反应腔内的所述下电极，其特征在于，还包括相位调节元件，所述相位调节元件串联于所述射频电源和所述阻抗匹配器之间，用于调节所述阻抗匹配器的输入阻抗，使其与所述射频电源的输出阻抗匹配，且所述相位调节元件的特征阻抗等于所述射频电源的输出阻抗；其中，所述相位调节元件的增益幅值为1，增益相位可调。