[发明专利]基板处理装置

摘要

本发明提供一种基板处理装置，包括处理腔、基板感知组件、转动轴和驱动组件。转动轴的一部分设置在所述处理腔内，且所述转动轴的两个端部中的至少一个延伸至所述处理腔外部，所述基板感知组件设置在所述转动轴上，且位于所述处理腔的外部；所述驱动组件固定在所述转动轴位于所述处理腔内的部分上；所述驱动组件能够在接触到待处理的基板时带动所述转动轴绕自身轴线沿第一方向转动，所述驱动组件能够在基板离开所述驱动组件时带动所述转动轴绕自身轴线沿与所述第一方向相反的第二方向转动。本发明还提供一种基板处理设备。由于基板感知组件设置在处理腔的外部，因此，处理液不会对基板感知组件造成影响。

主权项

1.一种基板处理装置，包括处理腔和基板感知组件，其特征在于，所述基板处理装置还包括：转动轴，所述转动轴的一部分设置在所述处理腔内，且所述转动轴的两个端部中的至少一个延伸至所述处理腔外部，所述基板感知组件设置在所述转动轴上，且位于所述处理腔的外部；和驱动组件，所述驱动组件固定在所述转动轴位于所述处理腔内的部分上；所述驱动组件能够在接触到待处理的基板时带动所述转动轴绕自身轴线沿第一方向转动，且当所述转动轴沿所述第一方向转过预定角度时，所述基板感知组件能够发出判定所述基板进入所述处理腔的第一感知信号；所述驱动组件能够在基板离开所述驱动组件时带动所述转动轴绕自身轴线沿与所述第一方向相反的第二方向转动，且当所述转动轴沿所述第二方向转过所述预定角度时，所述基板感知组件停止发出所述第一感知信号。