[发明专利]基板处理装置

权利要求书

1.一种基板处理装置，包括处理腔和基板感知组件，其特征在于，所述基板处理装置还包括：

转动轴，所述转动轴的一部分设置在所述处理腔内，且所述转动轴的两个端部中的至少一个延伸至所述处理腔外部，所述基板感知组件设置在所述转动轴上，且位于所述处理腔的外部；和

驱动组件，所述驱动组件固定在所述转动轴位于所述处理腔内的部分上；

所述驱动组件能够在接触到待处理的基板时带动所述转动轴绕自身轴线沿第一方向转动，且当所述转动轴沿所述第一方向转过预定角度时，所述基板感知组件能够发出判定所述基板进入所述处理腔的第一感知信号；

所述驱动组件能够在基板离开所述驱动组件时带动所述转动轴绕自身轴线沿与所述第一方向相反的第二方向转动，且当所述转动轴沿所述第二方向转过所述预定角度时，所述基板感知组件停止发出所述第一感知信号。

2.根据权利要求1所述的基板处理装置，其特征在于，所述基板感知组件包括基板感知传感器和感应片，所述基板感知传感器和所述感应片中的一者安装在所述转动轴上，所述基板感知传感器和所述感应片中的另一者相对于所述处理腔静止设置；

当所述转动轴沿所述第一方向转过所述预定角度时，所述基板感知传感器和所述感应片互相接近至所述感应片进入所述基板感知传感器的感知范围，且所述基板感知传感器发出所述第一感知信号；

当所述转动轴沿所述第二方向转过所述预定角度时，所述基板感知传感器和所述感应片互相远离至所述感应片离开所述基板感知传感器的感知范围，并且所述基板感知传感器停止发出所述第一感知信号。

3.根据权利要求2所述的基板处理装置，其特征在于，所述基板感知组件还包括安装架，所述安装架相对于所述处理腔静止设置，所述基板感知传感器和所述感应片中相对于所述处理腔静止的一者固定设置在所述安装架上。

4.根据权利要求3所述的基板处理装置，其特征在于，所述基板感知传感器设置在所述安装架上，所述感应片设置在所述转动轴上。

5.根据权利要求4所述的基板处理装置，其特征在于，所述基板处理装置还把包括初始位置感应传感器，所述初始位置感应传感器设置在所述安装架上，且所述初始位置感应传感器与所述基板感知传感器分别位于所述感应片的运动轨迹的两端，当所述驱动组件与所述基板脱离接触时，所述驱动组件将所述转动轴固定在使得所述感应片位于所述初始位置感应传感器的感知范围内的初始位置，且当所述感应片位于所述初始位置传感器的感知范围内时，所述初始位置传感器能够发出第二感知信号。

6.根据权利要求5所述的基板处理装置，其特征在于，所述基板感知传感器包括第一凹槽，所述初始位置传感器包括第二凹槽，所述感应片的一端能够进入所述第一凹槽，所述感应片的另一端能够进入所述第二凹槽。

7.根据权利要求5所述的基板处理装置，其特征在于，所述感应片形成为扇环形，所述基板处理装置还包括支撑杆，所述支撑杆的一端固定设置在所述转动轴上，所述感应片固定设置在所述支撑杆的另一端，且所述支撑杆的延长线穿过所述转动轴的轴线，所述感应片的圆心位于所述支撑杆上。

8.根据权利要求1至7中任意一项所述的基板处理装置，其特征在于，所述驱动组件包括固定在所述转动轴上的杠杆、设置在所述杠杆一端的配重和设置在所述杠杆的另一端的接触件，所述杠杆用于当所述接触件与所述基板接触时，随所述转动轴绕该转动轴的轴线转动；

所述基板处理装置还包括位于处理腔内并设置在所述杠杆下方的配重止挡件，所述配重止挡件用于当所述接触件不与所述基板接触时，止挡所述杠杆设置有配重的一端运动。

9.根据权利要求8所述的基板处理装置，其特征在于，所述配重到所述杠杆与所述转动轴相连处的距离小于所述杠杆的另一端到所述杠杆与所述转动轴相连处的距离。

10.根据权利要求8所述的基板处理装置，其特征在于，所述接触件包括滚轮，所述滚轮能在所述基板接触所述滚轮外表面并将所述杠杆压下时滚动。