[发明专利]一种中频感应加热化学气相沉积装置

摘要

本发明公开了一种中频感应加热化学气相沉积装置，包括石英管、感应石墨和衬底，石英管外壁上套设有线圈，感应石墨设置于石英管内，感应石墨下方设有底座，感应石墨与底座之间设有多根支撑管，通过支撑管支撑连接，感应石墨与底座之间设有移动支座，移动支座下端与底座上端支撑连接，衬底设置于移动支座上端，移动支座通过上下移动调节衬底与感应石墨的距离，石英管顶部设有进气装置，原料气体源通过进气管与进气装置连接，原料气体经进气装置进入石英管内腔，石英管下部设有泵。以中频感应加热器来提供热源，形成化学气相沉积，升温速率快，发热源寿命长，有利于寻找最佳的沉积温度。

主权项

一种中频感应加热化学气相沉积装置，其特征在于，包括石英管、感应石墨和衬底，石英管外壁上套设有线圈，感应石墨设置于石英管内，感应石墨下方设有底座，感应石墨与底座之间设有多根支撑管，通过支撑管支撑连接，感应石墨与底座之间设有移动支座，移动支座下端与底座上端支撑连接，衬底设置于移动支座上端，移动支座通过上下移动调节衬底与感应石墨的距离，石英管顶部设有进气装置，原料气体源通过进气管与进气装置连接，原料气体经进气装置进入石英管内腔，石英管下部设有泵。