[发明专利]一种白光发光二极管的制作工艺在审
| 申请号： | 201610215469.6 | 申请日： | 2016-04-08 |
| 公开（公告）号： | CN105810784A | 公开（公告）日： | 2016-07-27 |
| 发明（设计）人： | 王星河;郑锦坚 | 申请（专利权）人： | 王星河 |
| 主分类号： | H01L33/00 | 分类号： | H01L33/00;H01L33/20 |
| 代理公司： | 北京和信华成知识产权代理事务所(普通合伙) 11390 | 代理人： | 胡剑辉 |
| 地址： | 362343 福建省*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种白光发光二极管的制作工艺，具体步骤如下：在氮化镓衬底上制作具有三种面的氮化镓多面图形化衬底；通过控制极性面、半极性面和非极性面的倾斜角α、β、γ，制作类极性面、类半极性面和类非极性面；再外延生长多量子阱结构，调节多量子阱的阱厚度和铟组分，使类极性面发蓝光、类半极性面发绿光、类非极性面发红光，从而使每一个图形化衬底均发出红绿蓝光组合的白光出射。所述的具有三种面的氮化镓图形化衬底是通过纳米压印、光刻、激光微切割来蚀刻氮化镓衬底制备而成。所述斜角α、β、γ的范围均为‑90～90°。本发明可以直接在单个芯片上实现白光发射，不需要集成封装，成本较低，白光均匀性好，稳定性较好。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 白光 发光二极管 制作 工艺 | ||
【主权项】：
一种白光发光二极管的制作工艺，其特征在于，具体步骤如下：1）在氮化镓衬底上制作具有三种面的氮化镓多面图形化衬底；2）通过控制极性面（1）、半极性面（2）和非极性面（3）的倾斜角α、β、γ，制作类极性面（4）、类半极性面（5）和类非极性面（6）；3）再外延生长多量子阱结构，调节多量子阱的阱厚度和铟组分，使类极性面（4）发蓝光、类半极性面（5）发绿光、类非极性面（6）发红光，从而使每一个图形化衬底均发出红绿蓝光组合的白光出射。
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