[发明专利]有机电致发光装置及其制造方法

摘要

本发明提供了一种有机电致发光装置及其制造方法。该方法包含在衬底上形成第一导电层，第一导电层包含第一电极和与第一电极电绝缘的第一接触图案；在第一导电层上形成第一掩模，第一掩模包含离型薄膜、安置于离型薄膜和第一导电层之间的基底薄膜，并且第一掩模包含用于部分地暴露第一电极和第一接触图案的开口；通过第二掩模的遮蔽，形成部分地覆盖第一掩模的图案化有机功能层和被第一掩模暴露的第一电极；移除第二掩模；在前述结构上形成第二导电层；以及通过移除离型薄膜和形成在其上的第二导电层，以将第二导电层图案化而形成电连接到第一接触图案的第二电极和电连接到第一电极的第二接触图案。

主权项

一种用于制造有机电致发光装置的方法，其特征在于，包括：在衬底上形成第一导电层，所述第一导电层包括第一电极和第一接触图案，所述第一接触图案与所述第一电极电绝缘；在所述第一导电层上形成第一掩模，所述第一掩模包括离型薄膜和基底薄膜，所述基底薄膜安置于所述离型薄膜和所述第一导电层之间，所述第一掩模具有主开口、第一外围开口和第二外围开口，所述主开口用于部分地暴露所述第一电极和所述第一接触图案，所述第一外围开口用于部分地暴露所述第一电极，且所述第二外围开口用于部分地暴露所述第一接触图案；将第二掩模安置在所述第一掩模上，以部分地遮蔽被所述第一外围开口暴露的所述第一电极以及被所述第一掩模的所述主开口和所述第二外围开口暴露的所述第一接触图案；通过所述第二掩模的遮蔽而形成图案化有机功能层，所述图案化有机功能层覆盖被所述第二掩模暴露的所述第一掩模的一部分和被所述第一掩模的所述主开口暴露的所述第一电极的一部分；在形成所述图案化有机功能层之后移除所述第二掩模；在所述图案化有机功能层、所述第一掩模、被所述第一掩模的所述第一外围开口暴露的所述第一电极和被所述第一掩模的所述第二外围开口暴露的所述第一接触图案上形成第二导电层；以及通过移除所述离型薄膜和在所述离型薄膜上的部分所述第二导电层，以将所述第二导电层图案化而形成电连接到所述第一接触图案的第二电极和电连接到所述第一电极的第二接触图案。