[发明专利]一种多晶硅还原炉用氮化硅陶瓷尾气罩及其制备方法在审
| 申请号： | 201610187498.6 | 申请日： | 2016-03-29 |
| 公开（公告）号： | CN105819450A | 公开（公告）日： | 2016-08-03 |
| 发明（设计）人： | 赵振威;王惠忠;杨晓佳;胡刚;胡磊;倪金华 | 申请（专利权）人： | 上海泛联科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C01B33/035 | 分类号： | C01B33/035;C04B35/584;C04B35/622;F27D17/00 |
| 代理公司： | 上海科盛知识产权代理有限公司 31225 | 代理人： | 褚明伟 |
| 地址： | 201805 上海市嘉*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及一种多晶硅还原炉用氮化硅陶瓷尾气罩及其制备方法，首先按照重量百分比称量如下原料：氮化硅粉料80～92％，烧结助剂8～20％，经过酒精湿法混合，细化处理至粒径全部小于1um，喷雾造粒，喷雾所得粒子作为制备氮化硅陶瓷尾气罩的原料；再将上述喷雾所得粒子经过液压机干压成型，然后再经过冷等静压成型，得到带底的管筒形状坯体，将坯体干燥后，放置在脱胶烧结炉内预烧结，然后进行素坯铣加工，在圆柱侧壁开槽或孔，再放置在气压烧结炉内烧结，然后再对烧结后的陶瓷坯体进行精加工，即得到氮化硅陶瓷尾气罩成品。与现有技术相比，本发明的尾气罩具有耐高温、耐腐蚀、抗热震等特性，并且不会产生有害杂质，可以保证多晶硅产品的纯度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 多晶 还原 氮化 陶瓷 尾气 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种多晶硅还原炉用氮化硅陶瓷尾气罩，其特征在于，包括以下重量百分含量的原料：氮化硅粉料80～92％，烧结助剂8～20％。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海泛联科技股份有限公司，未经上海泛联科技股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201610187498.6/，转载请声明来源钻瓜专利网。
