[发明专利]一种多晶硅还原炉用氮化硅陶瓷尾气罩及其制备方法在审
| 申请号： | 201610187498.6 | 申请日： | 2016-03-29 |
| 公开（公告）号： | CN105819450A | 公开（公告）日： | 2016-08-03 |
| 发明（设计）人： | 赵振威;王惠忠;杨晓佳;胡刚;胡磊;倪金华 | 申请（专利权）人： | 上海泛联科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C01B33/035 | 分类号： | C01B33/035;C04B35/584;C04B35/622;F27D17/00 |
| 代理公司： | 上海科盛知识产权代理有限公司 31225 | 代理人： | 褚明伟 |
| 地址： | 201805 上海市嘉*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 多晶 还原 氮化 陶瓷 尾气 及其 制备 方法 | ||
【说明书】：
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