[发明专利]一种用于炉管机台石英套管安装的标准检查治具有效
申请号: | 201610164453.7 | 申请日: | 2016-03-22 |
公开(公告)号: | CN105632983B | 公开(公告)日: | 2018-03-23 |
发明(设计)人: | 魏巍;俞玮;裴雷洪 | 申请(专利权)人: | 上海华力微电子有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67 |
代理公司: | 上海天辰知识产权代理事务所(特殊普通合伙)31275 | 代理人: | 吴世华,陈慧弘 |
地址: | 201210 上海市浦*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本发明公开了一种用于炉管机台石英套管安装的标准检查治具,通过在炉管机台真空管路中安装两个石英套管后,利用其同轴套接时形成均匀间隙的特点,将标准检查治具的圆管形检查部向石英套管套接部的间隙平行伸入,即可根据其是否能自由伸入该间隙来判断两个石英套管是否处于同轴套接状态,从而能够可靠保证石英套管每一次安装的准确度,并杜绝因为安装偏移问题所导致的产品报废问题;并可通过在圆管形检查部尾端设置保持部,对圆管形检查部进行保护及控制其检查时的伸入长度;还可通过在保持部设置观察窗口,快速准确判断两个石英套管的套接是否符合标准。本发明可实现石英套管安装时量化的统一安装检查标准,使用方便简单。 | ||
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【主权项】:
一种用于炉管机台石英套管安装的标准检查治具,所述石英套管为设于炉管机台真空管路中的贯通圆管,包括第一、第二石英套管,其内端以间隙方式相内、外平行套接,其外端分别与一段真空管路的管壁固定安装,其特征在于,所述标准检查治具包括:检查部,为一段圆管,其前端用于在第一、第二石英套管固定安装后,从第二石英套管外端向第一、第二石英套管套接部的间隙平行伸入,以根据其是否能自由伸入该间隙来判断第一、第二石英套管是否同轴套接;保持部,与检查部的圆管尾端固定,用于保持检查部的圆管形状及控制其检查时的伸入长度。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
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H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
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