[发明专利]一种用于炉管机台石英套管安装的标准检查治具有效

专利信息
申请号: 201610164453.7 申请日: 2016-03-22
公开(公告)号: CN105632983B 公开(公告)日: 2018-03-23
发明(设计)人: 魏巍;俞玮;裴雷洪 申请(专利权)人: 上海华力微电子有限公司
主分类号: H01L21/67 分类号: H01L21/67
代理公司: 上海天辰知识产权代理事务所(特殊普通合伙)31275 代理人: 吴世华,陈慧弘
地址: 201210 上海市浦*** 国省代码: 上海;31
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要: 发明公开了一种用于炉管机台石英套管安装的标准检查治具,通过在炉管机台真空管路中安装两个石英套管后,利用其同轴套接时形成均匀间隙的特点,将标准检查治具的圆管形检查部向石英套管套接部的间隙平行伸入,即可根据其是否能自由伸入该间隙来判断两个石英套管是否处于同轴套接状态,从而能够可靠保证石英套管每一次安装的准确度,并杜绝因为安装偏移问题所导致的产品报废问题;并可通过在圆管形检查部尾端设置保持部,对圆管形检查部进行保护及控制其检查时的伸入长度;还可通过在保持部设置观察窗口,快速准确判断两个石英套管的套接是否符合标准。本发明可实现石英套管安装时量化的统一安装检查标准,使用方便简单。
搜索关键词: 一种 用于 炉管 机台 石英 套管 安装 标准 检查
【主权项】:
一种用于炉管机台石英套管安装的标准检查治具,所述石英套管为设于炉管机台真空管路中的贯通圆管,包括第一、第二石英套管,其内端以间隙方式相内、外平行套接,其外端分别与一段真空管路的管壁固定安装,其特征在于,所述标准检查治具包括:检查部,为一段圆管,其前端用于在第一、第二石英套管固定安装后,从第二石英套管外端向第一、第二石英套管套接部的间隙平行伸入,以根据其是否能自由伸入该间隙来判断第一、第二石英套管是否同轴套接;保持部,与检查部的圆管尾端固定,用于保持检查部的圆管形状及控制其检查时的伸入长度。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海华力微电子有限公司,未经上海华力微电子有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201610164453.7/,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top