[发明专利]一种实时监控晶圆烘烤和冷却均匀性的装置及方法

摘要

本发明公开了一种实时监控晶圆烘烤和冷却均匀性的装置及方法，通过在半导体机台的热板和冷板上方设置的光电感应传感单元向热板和冷板表面垂直发射光信号，当晶圆放置正确时，即可接收到从晶圆表面反射的光信号，并转换为电信号输出至控制单元发出正常通知；而当晶圆因放置不正确产生倾斜时，光电感应传感单元将无法接收到从晶圆表面反射的光信号，从而无法向控制单元输出电信号，控制单元可据此发出警报，因此可及时发现晶圆的不正确放置问题，有效解决了晶圆因烘烤及冷却均匀性差而导致成品率低的问题。

主权项

一种实时监控晶圆烘烤和冷却均匀性的装置，其特征在于，所述装置设于半导体机台，所述半导体机台内设有用于对晶圆进行烘烤的热板和对晶圆进行冷却的冷板，所述装置包括：光电感应传感单元，在所述热板和冷板上方至少各设置一个，用于分别向放置有晶圆的热板和冷板表面垂直发射光信号以及接收从晶圆表面反射的光信号，并将接收到的反射光信号转换为电信号输出；控制单元，连接光电感应传感单元，用于指令光电感应传感单元发射及接收光信号，其在接收到所述热板或冷板上方全部光电感应传感单元输出的电信号时，通知半导体机台可以对晶圆进行烘烤或冷却，在任一光电感应传感单元无电信号输出时，向半导体机台发出警报。