[发明专利]二氧化碳激光器的放电电极、其制备方法及二氧化碳激光器有效

专利信息
申请号: 201610149526.5 申请日: 2016-03-16
公开(公告)号: CN105671527B 公开(公告)日: 2018-07-06
发明(设计)人: 徐锦忠;任宁;林守利;张鹏;李志;朱伟林;高云峰 申请(专利权)人: 大族激光科技产业集团股份有限公司
主分类号: C23C18/36 分类号: C23C18/36;C23C18/18;C23F1/36;C23G1/12;C22F1/04;H01S3/038
代理公司: 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 代理人: 生启
地址: 518000 广东省深圳市南*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 发明涉及一种二氧化碳激光器的放电电极、其制备方法及二氧化碳激光器。一种二氧化碳激光器的放电电极,包括铝基板及形成于所述铝基板表面的镍层。上述二氧化碳激光器的放电电极,通过在铝基板的表面沉积镍层,镍层抗高温能力、抗氧化能力及表面硬度均大大优于铝,避免在运输、保存及装配过程中划伤放电电极;镍层提高了放电电极的抗高温性能,避免放电电极在使用过程灼烧变色及氧化,从而避免了二氧化碳激光器放电不均及激光功率的波动及因放电电极氧化引起的激光功率下降;镍层的表面电子逸出能大约是铝表面的1/3左右,可以降低启辉电压并使辉光放电更加的平稳,经测试证明在铝质电极表面沉积一层镍层大大提高了二氧化碳激光器功率的使用寿命。
搜索关键词: 二氧化碳激光器 放电电极 镍层 表面沉积 激光功率 铝基板 制备 抗高温能力 抗高温性能 抗氧化能力 铝基板表面 表面电子 表面硬度 辉光放电 铝质电极 启辉电压 使用寿命 装配过程 铝表面 放电 变色 划伤 逸出 灼烧 测试 保存 运输
【主权项】:
1.一种二氧化碳激光器的放电电极,其特征在于,包括铝基板及形成于所述铝基板表面的镍层,所述铝基板的厚度为10mm~50mm,所述镍层的厚度为0.015mm~0.03mm。
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