[发明专利]二氧化碳激光器的放电电极、其制备方法及二氧化碳激光器有效
申请号: | 201610149526.5 | 申请日: | 2016-03-16 |
公开(公告)号: | CN105671527B | 公开(公告)日: | 2018-07-06 |
发明(设计)人: | 徐锦忠;任宁;林守利;张鹏;李志;朱伟林;高云峰 | 申请(专利权)人: | 大族激光科技产业集团股份有限公司 |
主分类号: | C23C18/36 | 分类号: | C23C18/36;C23C18/18;C23F1/36;C23G1/12;C22F1/04;H01S3/038 |
代理公司: | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人: | 生启 |
地址: | 518000 广东省深圳市南*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明涉及一种二氧化碳激光器的放电电极、其制备方法及二氧化碳激光器。一种二氧化碳激光器的放电电极,包括铝基板及形成于所述铝基板表面的镍层。上述二氧化碳激光器的放电电极,通过在铝基板的表面沉积镍层,镍层抗高温能力、抗氧化能力及表面硬度均大大优于铝,避免在运输、保存及装配过程中划伤放电电极;镍层提高了放电电极的抗高温性能,避免放电电极在使用过程灼烧变色及氧化,从而避免了二氧化碳激光器放电不均及激光功率的波动及因放电电极氧化引起的激光功率下降;镍层的表面电子逸出能大约是铝表面的1/3左右,可以降低启辉电压并使辉光放电更加的平稳,经测试证明在铝质电极表面沉积一层镍层大大提高了二氧化碳激光器功率的使用寿命。 | ||
搜索关键词: | 二氧化碳激光器 放电电极 镍层 表面沉积 激光功率 铝基板 制备 抗高温能力 抗高温性能 抗氧化能力 铝基板表面 表面电子 表面硬度 辉光放电 铝质电极 启辉电压 使用寿命 装配过程 铝表面 放电 变色 划伤 逸出 灼烧 测试 保存 运输 | ||
【主权项】:
1.一种二氧化碳激光器的放电电极,其特征在于,包括铝基板及形成于所述铝基板表面的镍层,所述铝基板的厚度为10mm~50mm,所述镍层的厚度为0.015mm~0.03mm。
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C23 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C18-00 通过液态化合物分解抑或覆层形成化合物溶液分解、且覆层中不留存表面材料反应产物的化学镀覆
C23C18-02 .热分解法
C23C18-14 .辐射分解法,例如光分解、粒子辐射
C23C18-16 .还原法或置换法,例如无电流镀
C23C18-54 .接触镀,即无电流化学镀
C23C18-18 ..待镀材料的预处理
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C18-00 通过液态化合物分解抑或覆层形成化合物溶液分解、且覆层中不留存表面材料反应产物的化学镀覆
C23C18-02 .热分解法
C23C18-14 .辐射分解法,例如光分解、粒子辐射
C23C18-16 .还原法或置换法,例如无电流镀
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