[发明专利]二氧化碳激光器的放电电极、其制备方法及二氧化碳激光器有效

专利信息
申请号: 201610149526.5 申请日: 2016-03-16
公开(公告)号: CN105671527B 公开(公告)日: 2018-07-06
发明(设计)人: 徐锦忠;任宁;林守利;张鹏;李志;朱伟林;高云峰 申请(专利权)人: 大族激光科技产业集团股份有限公司
主分类号: C23C18/36 分类号: C23C18/36;C23C18/18;C23F1/36;C23G1/12;C22F1/04;H01S3/038
代理公司: 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 代理人: 生启
地址: 518000 广东省深圳市南*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 二氧化碳激光器 放电电极 镍层 表面沉积 激光功率 铝基板 制备 抗高温能力 抗高温性能 抗氧化能力 铝基板表面 表面电子 表面硬度 辉光放电 铝质电极 启辉电压 使用寿命 装配过程 铝表面 放电 变色 划伤 逸出 灼烧 测试 保存 运输
【权利要求书】:

1.一种二氧化碳激光器的放电电极,其特征在于,包括铝基板及形成于所述铝基板表面的镍层,所述铝基板的厚度为10mm~50mm,所述镍层的厚度为0.015mm~0.03mm。

2.一种二氧化碳激光器,其特征在于,包括权利要求1所述的放电电极。

3.如权利要求1所述的二氧化碳激光器的放电电极的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:

将铝基板浸入碱液中进行碱蚀处理,所述碱液含有氢氧化钠、碳酸钠及磷酸三钠,所述碱液中所述氢氧化钠的浓度为15g/L~20g/L,所述碳酸钠的浓度为20g/L~30g/L,所述磷酸三钠的浓度为20g/L~30g/L;

将碱蚀处理后的所述铝基板清洗并干燥后浸入酸液中进行酸洗处理,所述酸液含有硝酸及氟化氢,所述酸液中所述硝酸的浓度为420g/L~580g/L,氟化氢的浓度为80g/L~140g/L;

将酸洗处理后的所述铝基板清洗并干燥后浸入锌液中进行第一次浸锌处理,所述锌液含有氢氧化钠、氧化锌、酒石酸钾钠及三氯化铁,所述锌液中所述氢氧化钠的浓度为480g/L~520g/L,所述氧化锌的浓度为90g/L~120g/L,所述酒石酸钾钠的浓度为8g/L~12g/L,所述三氯化铁的浓度为1.5g/L~2.5g/L;

将第一次浸锌处理后的所述铝基板放入退锌液中进行退锌处理,所述退锌液含有硝酸及氟化氢,所述退锌液中所述硝酸的浓度为530g/L~580g/L,氟化氢的浓度为10g/L~55g/L;

将退锌处理后的所述铝基板浸入所述锌液中进行第二次浸锌处理;

将第二次浸锌处理后的所述铝基板清洗并干燥后浸入化学镀镍液中进行化学镀镍处理,所述化学镀镍液含有硫酸镍、次亚磷酸钠、柠檬酸钠、氯化铵及三乙醇胺,所述化学镀镍液中所述硫酸镍的浓度为20~30g/L,所述次亚磷酸钠的浓度为30~40g/L,所述柠檬酸钠的浓度为90-110g/L,所述氯化铵的浓度为30~45g/L,所述三乙醇胺的浓度为90-110g/L,所述化学镀镍液的pH值为9~10;及

将经过化学镀镍处理的所述铝基板清洗干燥后在100℃~150℃下进行退火处理。

4.根据权利要求3所述的二氧化碳激光器的放电电极的制备方法,其特征在于,所述退火处理的时间为2小时~3小时。

5.根据权利要求3所述的二氧化碳激光器的放电电极的制备方法,其特征在于,将铝基板浸入碱液中进行碱蚀处理之前还包括步骤:使用清洗剂对所述铝基板进行表面除脂处理。

6.根据权利要求3所述的二氧化碳激光器的放电电极的制备方法,其特征在于,所述碱蚀处理的温度为60℃~70℃,所述碱蚀处理的时间为1分钟~3分钟。

7.根据权利要求3所述的二氧化碳激光器的放电电极的制备方法,其特征在于,所述酸洗处理的时间为0.5分钟~1分钟。

8.根据权利要求3所述的二氧化碳激光器的放电电极的制备方法,其特征在于,所述第一次浸锌处理的时间为60秒~90秒,所述退锌处理的时间为5秒~15秒,所述第二次浸锌处理的时间为30秒~60秒。

9.根据权利要求3所述的二氧化碳激光器的放电电极的制备方法,其特征在于,所述化学镀镍液的温度为46℃~60℃,所述化学镀镍处理的时间为60分钟~90分钟。

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