[发明专利]一种用于槽型湿法设备的干燥装置及干燥方法

摘要

本发明公开了一种用于槽型湿法设备的干燥装置及干燥方法，通过在槽型湿法设备的装载及卸载晶圆区域设置干燥装置，并通过干燥装置的喷嘴，向从干燥槽进入装载及卸载晶圆区域的传送手臂的至少两侧喷射干燥气体，对传送手臂进行干燥，且能够调节干燥气体的喷射位置、距离和角度，可改善槽型湿法清洗设备装载及卸载晶圆区域的环境，防止水汽集聚，从而可有效避免晶圆表面产生凝结缺陷。

主权项

一种用于槽型湿法设备的干燥装置，所述槽型湿法设备包括清洗槽、干燥槽以及装载及卸载晶圆区域，并通过传送手臂将晶圆在其之间传送，其特征在于，所述干燥装置包括至少两组干燥气体喷嘴，所述喷嘴设于装载及卸载晶圆区域的相对两侧，所述干燥装置通过所述喷嘴，向从干燥槽进入装载及卸载晶圆区域的传送手臂两侧喷射干燥气体，对所述传送手臂进行干燥；其中，每组所述喷嘴分别安装在一个三轴向移动机构上，并且，所述喷嘴还安装在一个转动机构上，在进行干燥时，使每组所述喷嘴与传送手臂之间的水平位置、垂直位置、相互距离及喷射角度处于可调节状态，以便根据传送手臂的外形结构轮廓特点，移动喷嘴使之位于恰当的位置，对传送手臂的两侧进行全方位的干燥，避免产生工艺死角，并对从所述喷嘴喷射的干燥气体流量及压力进行调节，使其起到最佳的干燥效果。