[发明专利]一种用于槽型湿法设备的干燥装置及干燥方法

权利要求书

1.一种用于槽型湿法设备的干燥装置，所述槽型湿法设备包括清洗槽、干燥槽以及装载及卸载晶圆区域，并通过传送手臂将晶圆在其之间传送，其特征在于，所述干燥装置包括至少两组干燥气体喷嘴，所述喷嘴设于装载及卸载晶圆区域的相对两侧，所述干燥装置通过所述喷嘴，向从干燥槽进入装载及卸载晶圆区域的传送手臂两侧喷射干燥气体，对所述传送手臂进行干燥；其中，每组所述喷嘴分别安装在一个三轴向移动机构上，并且，所述喷嘴还安装在一个转动机构上，在进行干燥时，使每组所述喷嘴与传送手臂之间的水平位置、垂直位置、相互距离及喷射角度处于可调节状态，以便根据传送手臂的外形结构轮廓特点，移动喷嘴使之位于恰当的位置，对传送手臂的两侧进行全方位的干燥，避免产生工艺死角，并对从所述喷嘴喷射的干燥气体流量及压力进行调节，使其起到最佳的干燥效果。

2.根据权利要求1所述的用于槽型湿法设备的干燥装置，其特征在于，所述喷嘴在装载及卸载晶圆区域的四周分设四组。

3.根据权利要求1或2所述的用于槽型湿法设备的干燥装置，其特征在于，在装载及卸载晶圆区域的上方还设有一组所述喷嘴。

4.根据权利要求1或2所述的用于槽型湿法设备的干燥装置，其特征在于，每组的所述喷嘴并列设置1-6个，并围绕每组所述喷嘴设有广角导向罩。

5.一种用于槽型湿法设备的干燥方法，使用权利要求1-4任意一项所述的用于槽型湿法设备的干燥装置，其特征在于，包括：

使用传送手臂，将进入装载及卸载晶圆区域的晶圆依次传送到清洗槽、干燥槽进行湿法清洗工艺并进行表面干燥，然后，再次将晶圆传送至装载及卸载晶圆区域；打开干燥装置的各组喷嘴，至少从传送手臂的两侧喷射干燥气体，对进入装载及卸载晶圆区域的所述传送手臂进行干燥；

其中，对所述传送手臂进行干燥时，通过变换所喷射的干燥气体与传送手臂之间的水平、垂直位置及相互距离，以及变换喷射角度，对所述传送手臂进行移动式及多角度的干燥处理，并在喷射过程中，对干燥气体的流量及压力进行调节，使其起到最佳的干燥效果。

6.根据权利要求5所述的用于槽型湿法设备的干燥方法，其特征在于，对所述传送手臂进行干燥时，从传送手臂的四周及上方向传送手臂喷射干燥气体。

7.根据权利要求5所述的用于槽型湿法设备的干燥方法，其特征在于，所述干燥气体为经加热的高压氮气。