[发明专利]燃料电池的隔膜的涂覆方法及燃料电池的隔膜

摘要

本发明涉及一种燃料电池的隔膜的涂覆方法及燃料电池的隔膜。提供了涂覆燃料电池的隔膜的方法，其包括使金属碳化物前驱物蒸发以获得前驱物气体；将包含前驱物气体的形成金属碳化物涂覆层的气体引入反应室中；并且将电压施加至反应室使得前驱物气体变为等离子态，从而在基片的任一表面或两个表面上形成金属碳化物涂覆层。在这种情况下，金属碳化物前驱物可以包括具有取代或未取代的环戊二烯基基团的化合物。

主权项

一种涂覆燃料电池的隔膜的方法，包括以下步骤：使金属碳化物前驱物蒸发以获得前驱物气体；将包含所述前驱物气体的形成金属碳化物涂覆层的气体引入反应室中；并且将电压施加至所述反应室使得所述前驱物气体变为等离子态，从而在基片的任一表面或两个表面上形成金属碳化物涂覆层，其中，所述金属碳化物前驱物包括具有取代或未取代的环戊二烯基基团的化合物。