[发明专利]一种超薄均热板及其制作方法

摘要

本发明公开了一种超薄均热板及其制作方法，包括盖板和底板，在底板的内表面上设有凹腔，使盖板和底板之间形成处于真空状态的空腔，在空腔中设有附着在凹腔底面上的毛细芯结构，毛细芯结构由用于连接盖板与底板并作为其间热量和工作流体流动通道的第一毛细结构层和用于工作流体流动扩散的第二毛细结构层组成，第一毛细结构层由若干散布在底板凹腔中的圆球形金属颗粒组成，金属颗粒的直径与空腔的高度相同，第二毛细结构层为大比表面积空隙状结构，且与盖板之间具有用于气体流动的间隙，金属颗粒嵌入第二毛细结构层中并与盖板和底板熔接成一体。本发明减小了均热板的厚度、可弯曲形变、散热效率高，简化了制造工艺，成本低廉，适宜大规模生产。

主权项

1.一种超薄均热板，包括于周缘密封连接的盖板和底板，其特征在于：在所述底板的内表面上设有凹腔，使盖板和底板之间形成处于真空状态的空腔，在所述空腔中设有附着在凹腔底面上的毛细芯结构，所述毛细芯结构由用于连接盖板与底板并作为其间热量和工作流体流动通道的第一毛细结构层和用于工作流体流动扩散的第二毛细结构层组成，所述第一毛细结构层由若干随机散布在底板凹腔中的圆球形金属颗粒组成，所述金属颗粒的直径与空腔的高度相同以使其支撑在盖板与底板之间，所述第二毛细结构层为大比表面积空隙状结构，且与盖板之间具有用于气体流动的间隙，所述金属颗粒嵌入第二毛细结构层中并与盖板和底板熔接成一体；所述第二毛细结构层由若干散布在底板凹腔中的小粒径的金属颗粒组成，所述小粒径金属颗粒的平均粒径小于空腔高度的1/2，且处于第一毛细结构层的金属颗粒之间的间隙中；所述盖板为平板，所述底板的边缘外翻成折边，所述盖板的周缘焊接在所述底板的折边上以连接盖板和底板；所述第一毛细结构层的金属颗粒的直径为50～300微米；所述小粒径金属颗粒的平均粒径为5～100微米；所述第一毛细结构层的金属颗粒的数量和小粒径金属颗粒的数量之比是1/100～1/10。