[发明专利]一种超薄均热板及其制作方法

权利要求书

1.一种超薄均热板，包括于周缘密封连接的盖板和底板，其特征在于：在所述底板的内表面上设有凹腔，使盖板和底板之间形成处于真空状态的空腔，在所述空腔中设有附着在凹腔底面上的毛细芯结构，所述毛细芯结构由用于连接盖板与底板并作为其间热量和工作流体流动通道的第一毛细结构层和用于工作流体流动扩散的第二毛细结构层组成，所述第一毛细结构层由若干随机散布在底板凹腔中的圆球形金属颗粒组成，所述金属颗粒的直径与空腔的高度相同以使其支撑在盖板与底板之间，所述第二毛细结构层为大比表面积空隙状结构，且与盖板之间具有用于气体流动的间隙，所述金属颗粒嵌入第二毛细结构层中并与盖板和底板熔接成一体；所述第二毛细结构层由若干散布在底板凹腔中的小粒径的金属颗粒组成，所述小粒径金属颗粒的平均粒径小于空腔高度的1/2，且处于第一毛细结构层的金属颗粒之间的间隙中；所述盖板为平板，所述底板的边缘外翻成折边，所述盖板的周缘焊接在所述底板的折边上以连接盖板和底板；所述第一毛细结构层的金属颗粒的直径为50～300微米；所述小粒径金属颗粒的平均粒径为5～100微米；所述第一毛细结构层的金属颗粒的数量和小粒径金属颗粒的数量之比是1/100～1/10。

2.根据权利要求1所述的超薄均热板，其特征在于：所述第二毛细结构层采用至少一层金属网，所述金属网与凹腔相适配并逐层铺设在所述底板的凹腔底面上，所述第一毛细结构层的金属颗粒散布在位于最顶层的金属网上并向下将金属网压在底板上。

3.根据权利要求2所述的超薄均热板，其特征在于：所述盖板为平板，所述底板的边缘为外翻的折边，所述盖板的周缘焊接在所述底板的折边上以连接盖板和底板，在所述盖板的内表面上铺设至少一层金属网，第一毛细结构层的金属颗粒位于最底层的金属网的下方并向上将金属网压在盖板上。

4.根据权利要求3所述的超薄均热板，其特征在于：所述金属网的厚度小于0.15mm，金属网网孔的孔径为5～100微米。

5.根据权利要求1或4所述的超薄均热板，其特征在于：所述空腔的内表面、第一毛细结构层和第二毛细结构层的表面均涂覆有亲水涂层。

6.根据权利要求5所述的超薄均热板，其特征在于：所述超薄均热板的厚度大于或等于0.2mm且小于0.6mm。

7.一种权利要求1所述的超薄均热板的制作方法，其特征在于包括以下步骤：

⑴分别制作盖板和具有凹腔的底板，同时预留除气口；

⑵将第一毛细结构层的圆球形金属颗粒与第二毛细结构层的小粒径金属颗粒相混后散布到底板的凹腔中；

⑶将盖板扣合在底板凹腔的开口上形成均热板半成品；

⑷烧结均热板半成品，使得金属颗粒、盖板和底板熔接在一起；

⑸将盖板与底板的周缘焊接形成一具有除气口的腔体；

⑹通过除气口向腔体内填充工作流体；

⑺从除气口抽取腔体中的空气使腔体处于真空状态；

⑻封堵除气口并焊接密封制成超薄均热板。

8.一种权利要求2所述的超薄均热板的制作方法，其特征在于包括以下步骤：

⑴分别制作盖板和具有凹腔的底板，同时预留除气口；

⑵将至少一层金属网逐层铺设在底板凹腔的底面上；

⑶将第一毛细结构层的圆球形金属颗粒散布到位于最顶层的金属网上；

⑷将盖板扣合在底板凹腔的开口上形成均热板半成品；

⑸烧结均热板半成品，使得圆球形金属颗粒、金属网、盖板和底板熔接在一起，同时圆球形金属颗粒将金属网压在底板上；

⑹将盖板与底板的周缘焊接形成一具有除气口的腔体；

⑺通过除气口向腔体内填充工作流体；

⑻从除气口抽取腔体中的空气使腔体处于真空状态；

⑼封堵除气口并焊接密封制成超薄均热板。