[发明专利]晶体管及显示设备

摘要

本发明涉及晶体管及显示设备。具体地说提供一种具有有利的电特性和高可靠性的晶体管以及包括该晶体管的显示设备。该晶体管是将氧化物半导体用于沟道区而形成的底栅晶体管。经过通过热处理进行的脱水或脱氢的氧化物半导体层被用作活动层。该活动层包括微晶化的浅表部分的第一区以及其余部分的第二区。通过使用具有该结构的氧化物半导体层，能够抑制归因于湿气进入浅表部分或者氧自浅表部分排除的转变为n型以及寄生沟道的产生。另外，还能够降低在氧化物半导体层与源极和漏极电极之间的接触电阻。

主权项

一种晶体管，包括：栅电极层；相邻于所述栅电极层的栅极绝缘层；隔着所述栅极绝缘层相邻于所述栅电极层的氧化物半导体层，该氧化物半导体层包括沟道区；以及接触于所述氧化物半导体层的氧化物绝缘层，其中，所述氧化物半导体层包括铟、锌、以及铟和锌之外的金属，所述氧化物半导体层的上部包括结晶区，该结晶区包括在垂直于所述氧化物半导体层的上表面的方向上进行c轴取向的微晶，并且，所述结晶区不形成在侧表面部。