[发明专利]基于轻金属的多层基板在审
| 申请号： | 201580082409.5 | 申请日： | 2015-09-11 |
| 公开（公告）号： | CN108138328A | 公开（公告）日： | 2018-06-08 |
| 发明（设计）人： | 张吉昊;吴冠霆;林倩婷 | 申请（专利权）人： | 惠普发展公司;有限责任合伙企业 |
| 主分类号： | C23C28/00 | 分类号： | C23C28/00;C23C8/00;C23C8/10;C23C22/05;C23C26/02 |
| 代理公司： | 北京德琦知识产权代理有限公司 11018 | 代理人： | 张燕;王珍仙 |
| 地址： | 美国德*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本申请公开了基板，其包括轻金属层、形成在轻金属层上的氧化层以及形成在氧化层上的聚合物杂化层；并公开了用于形成该基板的方法。 | ||
| 搜索关键词： | 轻金属 氧化层 基板 聚合物 杂化层 多层 申请 | ||
【主权项】：
一种基板，包括：轻金属层；形成在所述轻金属层上的氧化层，其中所述氧化层为等离子体电解氧化层；和形成在所述氧化层上的陶瓷‑聚合物杂化层。
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