[发明专利]用于基板的运输的设备、用于基板的真空处理的设备、和用于磁悬浮系统的维护的方法在审
| 申请号： | 201580082306.9 | 申请日： | 2015-08-21 |
| 公开（公告）号： | CN107924859A | 公开（公告）日： | 2018-04-17 |
| 发明（设计）人： | 沃尔夫冈·克莱因;奥利弗·海默尔;西蒙·刘 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | H01L21/677 | 分类号： | H01L21/677;H01L21/687 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司11006 | 代理人： | 徐金国,吴启超 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 提供一种用于基板(10)的运输的设备(100)。设备(100)包括真空腔室(110)和磁悬浮系统(120)，真空腔室(110)具有经构造以将真空侧(101)从大气侧(102)分开的腔室壁，磁悬浮系统(120)经构造以用于真空腔室(110)中的基板载体(140)的非接触悬浮。磁悬浮系统(120)包括至少一个磁性装置(122)和至少一个保持单元(130)，至少一个磁性装置(122)经构造以用于在真空腔室(110)中的基板载体(140)沿着运输路径的运输期间提供作用在基板载体(140)上的磁力(F)，至少一个保持单元(130)经构造以保持至少一个磁性装置(122)可从大气侧(102)接取。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 运输 设备 真空 处理 磁悬浮 系统 维护 方法 | ||
【主权项】：
一种用于基板的运输的设备，包括：真空腔室，具有经构造以将真空侧从大气侧分开的腔室壁；和磁悬浮系统，经构造以用于所述真空腔室中的基板载体的非接触悬浮，所述磁悬浮系统包括：至少一个磁性装置，经构造以用于在所述真空腔室中的所述基板载体沿着运输路径的运输期间提供作用在所述基板载体上的磁力；和至少一个保持单元，经构造以保持能够从所述大气侧接取的所述至少一个磁性装置。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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