[发明专利]用于基板的运输的设备、用于基板的真空处理的设备、和用于磁悬浮系统的维护的方法

权利要求书

1.一种用于基板的运输的设备，包括：

真空腔室，具有经构造以将真空侧从大气侧分开的腔室壁；和

磁悬浮系统，经构造以用于所述真空腔室中的基板载体的非接触悬浮，所述磁悬浮系统包括：

至少一个磁性装置，经构造以用于在所述真空腔室中的所述基板载体沿着运输路径的运输期间提供作用在所述基板载体上的磁力；和

至少一个保持单元，经构造以保持能够从所述大气侧接取的所述至少一个磁性装置。

2.根据权利要求1所述的设备，其中所述腔室壁包括至少一个开口，且其中所述至少一个保持单元提供在所述至少一个开口中。

3.根据权利要求2所述的设备，其中所述至少一个保持单元经构造以密封所述腔室壁中的所述至少一个开口。

4.根据权利要求1-3任一项所述的设备，其中所述至少一个保持单元以可分离的方式连接到所述腔室壁。

5.根据权利要求1-4任一项所述的设备，其中所述至少一个保持单元具有多个侧壁和底壁，其中所述侧壁和所述底壁界定接纳空间，并且其中所述至少一个磁性装置在所述接纳空间中。

6.根据权利要求5所述的设备，其中所述至少一个保持单元包括盖，所盖经构造以覆盖所述接纳空间。

7.根据权利要求1-6任一项所述的设备，其中所述至少一个保持单元的至少一部分延伸通过所述腔室壁。

8.根据权利要求1-7任一项所述的设备，其中当所述磁力在所述基板载体的运输期间作用在所述基板载体上时，所述至少一个磁性装置与所述基板载体之间的距离少于10cm。

9.根据权利要求1-8任一项所述的设备，其中所述至少一个保持单元经构造以在真空环境存在于所述真空腔室中时保持所述至少一个磁性装置可从所述大气侧接取。

10.根据权利要求1-9任一项所述的设备，其中所述磁悬浮系统包括保持单元阵列，并且其中所述保持单元阵列中的所述保持单元沿着所述运输路径布置。

11.根据权利要求1-10任一项所述的设备，其中所述保持单元经构造以用于保持所述磁悬浮系统的一个或多个电子控制装置。

12.根据权利要求1-11任一项所述的设备，其中所述至少一个磁性装置从由以下所组成的群组中选择：电磁装置、螺线管、线圈、和上述的任意组合。

13.一种用于基板的真空处理的设备，包括：

真空腔室，具有经构造以将真空侧从大气侧分开的腔室壁；

磁悬浮系统，经构造以用于所述真空腔室中的基板载体的非接触悬浮，所述磁悬浮系统包括：

至少一个磁性装置，经构造以用于在所述真空腔室中的所述基板载体沿着运输路径的运输期间提供作用在所述基板载体上的磁力；和

至少一个保持单元，经构造以保持所述至少一个磁性装置可从所述大气侧接取；和

一个或多个处理工具，在所述真空腔室中，其中所述一个或多个处理工具沿着所述运输路径布置。

14.根据权利要求13所述的设备，其中所述一个或多个处理工具包括从由以下所组成的群组选择的至少一个工具：沉积源和蚀刻工具。

15.一种用于磁悬浮系统的维护的方法，其中所述磁悬浮系统经构造以用于真空腔室中的基板载体的非接触悬浮，所述方法包括：

从所述真空腔室的大气侧接取所述磁悬浮系统的由保持单元保持的至少一个磁性装置。