[发明专利]用于WLCSP的垂直电感器在审
| 申请号： | 201580081209.8 | 申请日： | 2015-06-25 |
| 公开（公告）号： | CN107750391A | 公开（公告）日： | 2018-03-02 |
| 发明（设计）人： | A.沃尔特;T.迈尔;G.克诺布林格 | 申请（专利权）人： | 英特尔IP公司 |
| 主分类号： | H01L23/64 | 分类号： | H01L23/64;H01F17/00;H01F41/04 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司72001 | 代理人： | 李啸,刘春元 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明的实施例包含微电子装置和形成微电子装置的方法。在实施例中，微电子装置包含半导体管芯和电耦合到半导体管芯的电感器。电感器可包含一个或多个导电线圈，其远离半导体管芯的表面延伸。在实施例中，每个导电线圈可包含多个迹线。例如，第一迹线和第三迹线可在第一介电层上方形成，以及第二迹线可在第二介电层上方和芯上方形成。穿透第二介电层的第一通孔可将第一迹线耦合到第二迹线，以及穿透第二介电层的第二通孔可将第二迹线耦合到第三迹线。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 wlcsp 垂直 电感器 | ||
【主权项】：
一种微电子装置，包括：半导体管芯；以及电耦合到所述半导体管芯的电感器，其中，所述电感器包含一个或多个导电线圈，所述一个或多个导电线圈远离所述半导体管芯的表面延伸。
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