[发明专利]用于振荡晶体的扩散阻挡物、用于测量沉积速率的测量组件及其方法在审
| 申请号： | 201580080208.1 | 申请日： | 2015-09-22 |
| 公开（公告）号： | CN108027349A | 公开（公告）日： | 2018-05-11 |
| 发明（设计）人： | 乔斯·曼纽尔·迭格斯-坎波;斯蒂芬·班格特;海克·兰特格雷夫 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | G01N29/02 | 分类号： | G01N29/02;C23C14/54;G01N29/24;G01N29/32;H01L41/113 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 徐金国;赵静 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种用于测量组件的检测元件，测量组件适于测量在基板上的已蒸发的材料的沉积速率。检测元件包括：振荡晶体，用于检测沉积速率；以及阻挡物层，包括阻挡材料，阻挡材料覆盖振荡晶体的至少一部分，并且被构造以防止已蒸发的材料扩散到振荡晶体中。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 振荡 晶体 扩散 阻挡 测量 沉积 速率 组件 及其 方法 | ||
【主权项】：
1.一种用于测量组件的检测元件，所述测量组件适于测量在基板上的已蒸发的材料的沉积速率，所述检测元件包括：振荡晶体，所述振荡晶体用于检测所述沉积速率；以及阻挡物层，所述阻挡物层包括阻挡材料，所述阻挡材料覆盖所述振荡晶体的至少一部分，并且所述振荡晶体被构造以防止所述已蒸发的材料扩散到所述振荡晶体中。
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- 本实用新型公开了超声波检测技术领域中的一种液体气泡传感器超声波检测电路，包括与超声波气泡传感器组件中的发射头连接的发射振荡电路、与超声波气泡传感器组件中的接收头连接的接收解调电路，待检测液体流经的导管位于接收头与发射头之间，发射振荡电路包括反相器集成芯片和有源晶振，反相器集成芯片的型号为SN74HC04，其与有源晶振连接用于形成周期性振荡方波，并将振荡信号发送至发射头，接收解调电路的输出端与数据采集设备连接，接收解调电路用于接收接收头的信号并将检波解调后的信号发送至数据采集设备。
- 一种超声波氧浓度测量组件-202321678248.4
- 邱笑;周兴远;郭勇;母江波;何顺;米绍阁 - 沈阳爱尔泰医疗科技有限公司
- 2023-06-29 - 2023-08-04 - G01N29/02
- 本实用新型涉及医用、家用、保健制氧机领域，具体为一种超声波氧浓度测量组件。超声波管件水平穿设安装于固定架，固定架通过第一固定螺钉、第二固定螺钉安装于电路板，第一固定螺钉、第二固定螺钉分别位于超声波管件两侧，超声波管件的两端口处分别设置第一超声波探头、第二超声波探头；超声波管件一侧的两个开口分别与压力检测转接口和氧气进气口相连通，超声波管件通过压力检测转接口与电路板上的压力传感器连接。本实用新型超声波氧浓度测量组件内装有压力传感器，能检测到压力对氧浓度的影响数值，使氧浓度检测数值更准确。
- 基于超声检测换能器的测量装置-202320512332.2
- 钱飞;唐维 - 杭州仁牧科技有限公司
- 2023-03-16 - 2023-08-01 - G01N29/02
- 本实用新型公开了基于超声检测换能器的测量装置，包括检测台和固定连接在检测台顶端的支撑板，所述检测台的顶端放置有控制监视器，所述检测台的顶端且远离控制监视器的一侧放置有检测主板，本实用新型涉及换能器测量技术领域。该基于超声检测换能器的测量装置，通过设置夹持机构，通过启动液压杆，液压杆通过气缸带动伸缩杆配合连接块带动第一限位盘转动，从而使第一限位盘通过固定块带动第二限位盘转动，由此通过配合两个限位块带动驱动块转动，从而使驱动杆配合限位柱在驱动块的内表面滑动，由此带动移动橡胶夹持块对换能器进行夹持固定，从而其在进行测量的过程中能够减小振动，从而提高测量数值的精确度。
- 一种基于音圈元件的气液两相检测装置及方法-202110475749.1
- 王茂坤;葛益波;徐礼林 - 中国航空工业集团公司金城南京机电液压工程研究中心
- 2021-04-29 - 2023-07-25 - G01N29/02
- 本发明属于检测技术领域，一种基于音圈元件的气液两相检测装置，包括交流激励源、音圈元件、采样元件和解调电路；音圈元件和采样元件串联于交流激励源的两个电源引脚之间，采样元件与解调电路并联；采样元件的电压信号送入解调电路，音圈元件为电磁类气、液介质检测的敏感元件，音圈元件设在待检测的介质中。本发明采用音圈元件作为气液检测的敏感元件，具有环境适应性强的优点；依据被检测对象的密度、粘度等物理特性，具有适用对象广、检测灵敏、可靠性高的优点。
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