[发明专利]用于衬底容置的具有整体拐角弹簧的水平衬底容器在审
申请号: | 201580073604.1 | 申请日: | 2015-12-08 |
公开(公告)号: | CN107112269A | 公开(公告)日: | 2017-08-29 |
发明(设计)人: | 艾瑞克·A·柯克兰 | 申请(专利权)人: | 恩特格里斯公司 |
主分类号: | H01L21/673 | 分类号: | H01L21/673 |
代理公司: | 北京律盟知识产权代理有限责任公司11287 | 代理人: | 齐杨 |
地址: | 美国马*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明涉及一种衬底容器,其包含适于接收呈衬底堆叠的衬底的衬底支撑件,例如同心环。所述容器包含基底及顶盖以围封所述衬底堆叠。闩锁机构适于将所述顶盖闩锁到所述基底且将所述衬底堆叠固定于所述容器内。所述闩锁机构包含位于所述容器的外侧部分上的弹性拐角凸缘,所述凸缘充当弹簧以对所述盖及对所述衬底堆叠强加偏置力。所述凸缘将所述堆叠固持于所述容器内,同时适应由归因于组件加工容限的不确定性的累积导致的堆叠不确定性。在一些实施例中,在所述容器的所述顶盖的侧壁与所述基底之间形成间隙以确保对所述衬底堆叠的压缩。可实施偏转限制器以防止所述凸缘的过偏转。 | ||
搜索关键词: | 用于 衬底 具有 整体 拐角 弹簧 水平 容器 | ||
【主权项】:
一种用于衬底的容器,所述容器界定适于接收多个经堆叠衬底的衬底储存区,所述容器包括:基底,其包含向上延伸侧壁,所述侧壁经安置以至少部分地环绕所述衬底储存区,所述基底包含从所述基底向上延伸的至少一个弹性闩锁部件,所述闩锁部件包含具有基本上面向下啮合表面的啮合部分;盖,其包含向下延伸侧壁,所述盖与所述基底协作以至少部分地环绕所述衬底储存区;及至少一个可偏转拐角凸缘,其可操作地耦合到所述盖且相对于所述盖的所述侧壁径向向外延伸,所述可偏转拐角凸缘经构造且经布置成可相对于所述盖向下偏转,所述可偏转拐角凸缘界定适于接收所述闩锁部件的孔隙,所述可偏转拐角凸缘界定适于啮合所述闩锁部件的所述啮合部分以使所述盖相对于所述基底闩锁的上部表面。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
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