[发明专利]抗蚀永久膜用固化性组合物及抗蚀永久膜

摘要

提供一种在溶剂中的溶解性优异、而且能得到碱显影性、耐热分解性、感光度及分辨率优异的涂膜、尤其适于得到抗蚀永久膜的固化性组合物、使用该固化性组合物得到的抗蚀永久膜。具体而言，提供一种抗蚀永久膜用固化性组合物、使该组合物固化而成的抗蚀永久膜，所述抗蚀永久膜用固化性组合物含有：具有下述结构式(1)所示分子结构的含酚羟基化合物(A)和、感光剂(B1)或固化剂(B2)(式(1)中，R1为氢原子、烷基或芳基，n为2～10的整数。R2为烷基、烷氧基、芳基、芳烷基、卤素原子中任意者，m为0～4的整数。m为2以上时，多个R2可以彼此相同，也可以不同，且可以键合在萘骨架的2个芳香环中的任意者上)。

主权项

一种抗蚀永久膜用固化性组合物，其特征在于，包含具有下述结构式(1)所示分子结构的含酚羟基化合物(A)且包含感光剂(B1)或固化剂(B2)，式(1)中，R1为氢原子、烷基或芳基；n为2～10的整数；R2为烷基、烷氧基、芳基、芳烷基、卤素原子中任意者；m为0～4的整数，m为2以上时，多个R2任选彼此相同或不同，且任选键合在萘骨架的2个芳香环中的任意者上。