[发明专利]具有含有开槽式螺旋波导的旋转微波等离子体天线的工件处理腔室

摘要

一种微波天线，包含：第一螺旋导管，第一螺旋导管具有第一导管端和第一多个口，第一多个口被沿着第一螺旋导管的长度间隔放置于第一螺旋导管的底板中；耦接至旋转式台的轴向导管；以及包含输入和第一输出的分配器波导，输入耦接至轴向导管，且第一输出耦接至第一导管端。

主权项

1.一种用于处理工件的反应器，所述反应器包含：腔室以及在所述腔室内的工件支撑件表面；旋转耦合件，所述旋转耦合件包含固定式台和旋转式台，所述旋转式台具有旋转轴；微波源，所述微波源耦接至所述固定式台；旋转致动器；微波天线，所述微波天线耦接至所述旋转致动器与并覆盖所述腔室，所述微波天线包含：底板和天花板；第一螺旋壁，所述第一螺旋壁在所述底板与所述天花板之间延伸，且所述第一螺旋壁具有螺旋轴，所述螺旋轴对应于所述旋转轴，所述第一螺旋壁界定第一螺旋导管，所述第一螺旋导管具有第一导管端；第一多个口，所述第一多个口被沿着所述第一螺旋导管的长度在所述底板中间隔放置；轴向导管，所述轴向导管耦接至所述旋转式台；以及分配器波导，所述分配器波导包含输入和第一输出，所述输入耦接至所述轴向导管，且所述第一输出耦接至所述第一导管端。