[发明专利]组合多极磁体及偶极扫描磁体有效
| 申请号： | 201580070492.4 | 申请日： | 2015-12-28 |
| 公开（公告）号： | CN107112180B | 公开（公告）日： | 2019-12-10 |
| 发明（设计）人： | 爱德华·艾伊斯勒 | 申请（专利权）人： | 艾克塞利斯科技公司 |
| 主分类号： | H01J37/08 | 分类号： | H01J37/08;H01J37/141;H01J37/147;H01J37/317 |
| 代理公司： | 11019 北京中原华和知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 刘新宇;寿宁 |
| 地址： | 美国马萨诸*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明提供一种用于离子注入系统的组合扫描与聚焦磁体。所述组合扫描与聚焦磁体包括具有高磁导率的轭圈。所述轭圈限定配置成使离子束贯穿其中的通孔。一个或多个扫描仪线圈在操作上被耦合至所述轭圈并被配置成在被电气耦合至电源供应器时产生时变、主要偶极的磁场。一个或多个聚焦线圈在操作上被耦合至所述轭圈并被配置成产生主要多极的磁场，其中，所述主要多极的磁场为静态场或时变场中之一。 | ||
| 搜索关键词： | 组合 多极 磁体 扫描 | ||
【主权项】：
1.一种组合扫描与聚焦磁体，其包括：/n具有高磁导率的轭圈，所述轭圈限定通孔，其被配置成使离子束贯穿其中；/n一个或多个扫描线圈，其在操作上被耦合至所述轭圈并被配置成在被电气耦合至电源供应器时产生时变的偶极磁场；/n一个或多个聚焦线圈，其在操作上被耦合至所述轭圈并被配置成产生多极磁场，其中，所述多极磁场为静态场或时变场中之一，且其中，所述一个或多个聚焦线圈中的导线被定位成消除聚焦线圈与扫描线圈之间的互感；以及/n可调的辅助轭圈，其中，所述辅助轭圈上缠绕一个或多个辅助线圈，其中，所述一个或多个辅助线圈被定位于与所述一个或多个扫描线圈相关联的边缘场区域中，借以大幅消除所述一个或多个聚焦线圈与所述一个或多个扫描线圈之间的互感。/n
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