[发明专利]13族元素氮化物结晶的培养方法及装置

摘要

通过将13族元素源、包含碱金属和碱土金属中的至少一方的助熔剂、及在常温下为液体的添加剂5收纳于结晶培养容器10，在含有氮原子的气体气氛下对结晶培养容器10进行加热、加压，由此生成包含13族元素源、助熔剂及添加剂的熔液14。此时，防止添加剂5蒸发直至助熔剂熔融，使13族元素氮化物结晶在熔液中生长。

主权项

1.一种13族元素氮化物结晶的制造方法，其特征在于，通过将13族元素源、包含碱金属和碱土金属中的至少一方的助熔剂、及在常温下为液体的添加剂收纳于结晶培养容器，在含有氮原子的气体气氛下对所述结晶培养容器进行加热、加压，由此生成包含所述13族元素源、所述助熔剂及所述添加剂的熔液，此时通过包含所述助熔剂的遮蔽物来防止所述添加剂蒸发直至所述助熔剂熔融，使13族元素氮化物结晶在所述熔液中生长，所述添加剂收纳在容器中，所述容器整体由所述遮蔽物形成并熔融到熔液中，或者，所述容器包括：具有收纳所述添加剂的收纳部的主体和由所述遮蔽物形成的盖子，所述盖子熔融到熔液中，所述主体保持在熔液中。