[发明专利]自动化图案保真度测量计划产生

摘要

本发明提供用于确定将对样品执行的计量过程的参数的方法及系统。一种系统包含一或多个计算机子系统，所述一或多个计算机子系统经配置以用于基于针对所述样品的设计而自动产生将在对所述样品执行的计量过程期间利用所述测量子系统测量的所关注区域ROI。所述计算机子系统还经配置以用于分别基于针对所述样品的所述设计的位于所述ROI的第一子集及第二子集中的部分而自动确定在所述计量过程期间利用所述测量子系统在所述ROI的所述第一子集及所述第二子集中执行的测量的参数。在所述第一子集中执行的所述测量的所述参数是单独地且独立于在所述第二子集中执行的所述测量的所述参数而确定。

主权项

一种经配置以确定将对样品执行的计量过程的一或多个参数的系统，其包括：测量子系统，其至少包括能量源及检测器，其中所述能量源经配置以产生被引导到样品的能量，且其中所述检测器经配置以检测来自所述样品的能量且响应于所述所检测能量而产生输出；及一或多个计算机子系统，其经配置以用于：基于针对所述样品的设计而自动产生将在对所述样品执行的计量过程期间利用所述测量子系统测量的所关注区域；及分别基于针对所述样品的所述设计的位于所述所关注区域的第一子集及第二子集中的部分而自动确定在所述计量过程期间利用所述测量子系统在所述所关注区域的所述第一子集及所述第二子集中执行的一或多个测量的一或多个参数，其中在所述第一子集中执行的所述一或多个测量的所述一或多个参数是单独地且独立于在所述第二子集中执行的所述一或多个测量的所述一或多个参数而确定。