[发明专利]蚀刻液组合物、多层膜的蚀刻方法和显示装置的制造方法有效
| 申请号： | 201580054917.2 | 申请日： | 2015-10-07 |
| 公开（公告）号： | CN106795633B | 公开（公告）日： | 2021-02-05 |
| 发明（设计）人： | 全重翼;印致成;李美顺;申铉亿;裴俊佑 | 申请（专利权）人： | 三永纯化株式会社;三菱瓦斯化学株式会社;三星显示有限公司 |
| 主分类号： | C23F1/16 | 分类号： | C23F1/16;C23F1/30;C23F1/20 |
| 代理公司： | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人： | 龙淳;尹明花 |
| 地址： | 韩国忠*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种蚀刻液组合物、多层膜的蚀刻方法、和显示装置的制造方法，其中，本发明的蚀刻液组合物包含：(A)铜离子供给源；(B)分子内具有1个以上的羧基的有机酸离子供给源；(C)氟离子供给源；(D)作为第一添加剂的蚀刻调节剂、表面氧化力提高剂、或者这些的组合；以及(E)作为第二添加剂的表面活性剂。 | ||
| 搜索关键词： | 蚀刻 组合 多层 方法 显示装置 制造 | ||
【主权项】：
一种蚀刻液组合物，其特征在于，包含：(A)铜离子供给源；(B)分子内具有1个以上的羧基的有机酸离子供给源；(C)氟离子供给源；(D)作为第一添加剂的蚀刻调节剂、表面氧化力提高剂、或者这些的组合；以及(E)作为第二添加剂的表面活性剂。
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