[发明专利]烧结体有效
| 申请号： | 201580050549.4 | 申请日： | 2015-11-18 |
| 公开（公告）号： | CN107074663B | 公开（公告）日： | 2018-06-19 |
| 发明（设计）人： | 矢野豊彦;吉田克己;津之浦彻;重吉勇二 | 申请（专利权）人： | 日本钇股份有限公司 |
| 主分类号： | C04B35/553 | 分类号： | C04B35/553;C04B35/50;H01L21/3065 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 刘凤岭;陈建全 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明涉及一种烧结体，其含有钇氟氧化物。钇氟氧化物优选为YOF和/或Y5O4F7。本发明的烧结体优选含有50质量％以上的钇氟氧化物。本发明的烧结体优选相对密度为70％以上，而且优选开口气孔率为10％以下。另外，本发明的烧结体还优选3点弯曲强度为10MPa～300MPa。 1 | ||
| 搜索关键词： | 烧结体 优选 氟氧化物 开口气孔 | ||
【主权项】：
1.一种烧结体，其含有50质量％以上的钇氟氧化物；所述烧结体的弹性模量为100GPa～300GPa。
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