[发明专利]用于反射测量的测量装置有效
| 申请号： | 201580041617.0 | 申请日： | 2015-06-22 |
| 公开（公告）号： | CN106574866B | 公开（公告）日： | 2021-08-10 |
| 发明（设计）人： | 约尔格·马格雷夫;延斯·蒙德里 | 申请（专利权）人： | 卡尔蔡司光谱有限公司 |
| 主分类号： | G01J3/02 | 分类号： | G01J3/02;G01J3/08;G01J3/10;G01J3/50;G01N21/47 |
| 代理公司： | 上海和跃知识产权代理事务所(普通合伙) 31239 | 代理人： | 尹洪波 |
| 地址： | 德国图林*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用于在样本(04、21、42、54)的生产过程中检测样本(04、21、42、54、66)的绝对反射光谱的测量装置。测量装置包括：光源，其用于产生测量光；均化器，其用于产生测量光的均匀的空间照度分布；可移动反射器(6、16、39、52、59、62)和接收器(07、22、37、53)，其用于收集从样本(04、21、42、54)和/或反射器(6、16、39、52)反射的测量光。根据本发明，不仅用于参考测量而且用于样本测量的反射器(6、16、39、52、59、62)定位在观察光路中并且配置在样本(04、21、42、54、66)的与光源的同一侧，以便将反射的测量光导入到接收器(07、22、37、53)。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 反射 测量 装置 | ||
【主权项】：
一种用于在样本(04、21、42、54、66)的生产过程中检测样本(04、21、42、54、66)的绝对反射光谱的测量装置，其包括：光源，其用于产生测量光；均化器，其用于产生测量光的均匀的空间照度分布；可移动反射器(6、16、39、52、59、62)；和接收器(07、22、37、53)，其用于收集从所述样本(04、21、42、54、66)和/或所述反射器(6、16、39、52)反射的测量光，其特征在于，不仅用于参考测量而且用于样本测量的所述反射器(6、16、39、52、59、62)定位在观察光路中并且配置在所述样本(04、21、42、54、66)的与所述光源的同一侧，以便将反射的测量光导入到所述接收器(07、22、37、53)。
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