[发明专利]光学元件有效
| 申请号： | 201580037275.5 | 申请日： | 2015-06-30 |
| 公开（公告）号： | CN106662674B | 公开（公告）日： | 2019-03-29 |
| 发明（设计）人： | 本乡弘毅;蓧塚启;大纮太郎;梶田圭一 | 申请（专利权）人： | 王子控股株式会社 |
| 主分类号： | G02B1/118 | 分类号： | G02B1/118 |
| 代理公司： | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人： | 齐杨 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明的光学元件在基体上具备抗反射层，所述抗反射层上形成有具有使用环境下的光的波长以下的最频间距的多个微小凹部，凹部的80％以上具有1个以上的台阶，且满足0.12d≦ws≦0.17d及0.42h≦zs≦0.52h的关系式。其中，d为所述凹部的直径，h为所述凹部的深度，ws为任意切断面上的各台阶的宽度的合计，zs为这些各台阶的深度的平均值。 | ||
| 搜索关键词： | 光学 元件 | ||
【主权项】：
1.一种光学元件，其在基体上具备抗反射层，所述抗反射层上形成有具有使用环境下的光的波长以下的最频间距的多个微小凹部，所述凹部的80％以上具有1个以上的台阶，且满足以下条件:其中，d为所述凹部的直径，h为所述凹部的深度，ws为任意切断面上的各台阶的宽度的合计，zs为这些各台阶的深度的平均值，[数1]0.12d≦ws≦0.17d…(1)[数2]0.42h≦zs≦0.52h…(2)，所述使用环境下的光，是指紫外光、可见光、红外光的任一种；所述最频间距为邻接的凹部间的距离，具体可通过以下方式求出:首先，在基体上的随机选择的区域中，对一边为最频间距的30～40倍的正方形区域获得AFM图像，然后，通过傅立叶变换对该图像进行波形分离，获得FFT像，其次，求出FFT像的分布中的0次波峰到1次波峰的距离，像这样而求出的距离的倒数为该区域的最频间距，对随机选择的合计25处以上的同面积的区域同样地进行这种处理，求出各区域的最频间距，像这样而获得的25处以上的区域的最频间距的平均值为最频间距；所述直径可作为对与凹部的排列面垂直的截面进行观测时的凹部的最大直径而求出；所述台阶的宽度是指将台阶投影到凹部的基准面上的宽度，所述台阶的宽度的合计为这些各台阶的宽度的合计。
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