[发明专利]基板载体系统及使用它的方法

摘要

提供一种基板载体系统。该基板载体系统包括基板载体主体、电极组件、支撑基底及控制器。该基板载体主体具有基板支撑表面，且电极组件设置于该基板载体主体中。该电极组件包括多个横向间隔开的电极组。每个电极组包括与第二电极交错的第一电极。该支撑基底支撑该基板载体主体。该控制器被配置成：从该多个电极组中选择电极组的第一群和电极组的第二群；以第一夹持模式操作电极组的该第一群；同时以第二夹持模式操作电极组的该第二群；以及选择性地将至少一个电极组从该第一群切换至该第二群。

主权项

1.一种基板载体系统，包括：基板载体主体，所述基板载体主体具有基板支撑表面；以及电极组件，所述电极组件设置于所述基板载体主体中，所述电极组件包括多个横向间隔开的电极组，每个电极组包括与第二电极交错的第一电极；支撑基底，所述支撑基底支撑所述基板载体主体；以及控制器，所述控制器被配置成：从所述多个电极组中选择所述电极组的第一群和所述电极组的第二群；以第一夹持模式操作所述电极组的所述第一群；同时以第二夹持模式操作所述电极组的所述第二群；以及选择性地将至少一个电极组从所述第一群切换至所述第二群。