[发明专利]具有绝缘基板的MEMS马达在审
| 申请号： | 201580017175.6 | 申请日： | 2015-04-01 |
| 公开（公告）号： | CN106132869A | 公开（公告）日： | 2016-11-16 |
| 发明（设计）人： | 邵宁;E·J·劳滕施拉格尔 | 申请（专利权）人： | 美商楼氏电子有限公司 |
| 主分类号： | B81B7/02 | 分类号： | B81B7/02;B81C1/00 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 吕俊刚;师玮 |
| 地址： | 美国伊*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 微机电系统(MEMS)裸片包括：基板、与基板相邻设置的绝缘层、连接至绝缘层的振动膜以及连接至绝缘层的背板。背板与振动膜按间隔关系设置。绝缘层定位在基板与振动膜和背板之间，以将基板与振动膜和背板电隔离。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 绝缘 mems 马达 | ||
【主权项】：
一种微机电系统(MEMS)裸片，该MEMS裸片包括：基板；绝缘层，该绝缘层与所述基板相邻地设置；振动膜，该振动膜连接至所述绝缘层；以及背板，该背板连接至所述绝缘层，所述背板与所述振动膜按间隔关系设置；其中，所述绝缘层定位在所述基板与所述振动膜之间，并且定位在所述基板与所述背板之间，以将所述基板与所述振动膜和所述背板电隔离。
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