[发明专利]感光性树脂组合物、固化膜、固化膜的制造方法及半导体器件有效
| 申请号： | 201580016802.4 | 申请日： | 2015-03-24 |
| 公开（公告）号： | CN106133602B | 公开（公告）日： | 2019-10-08 |
| 发明（设计）人： | 岩井悠;小山一郎 | 申请（专利权）人： | 富士胶片株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/029 | 分类号： | G03F7/029;G03F7/004;G03F7/027;G03F7/031;G03F7/037 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 葛凡 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： |
本发明提供一种能够在低温下进行含杂环聚合物前体的环化反应且能够形成分辨性优异的图案的感光性树脂组合物、使用这种感光性树脂组合物的固化膜、固化膜的制造方法及半导体器件。本发明的感光性树脂组合物含有：具有通式(A)所表示的阳离子部及具备自由基引发能力的阴离子部的化合物；含杂环聚合物前体；及自由基聚合性化合物。Ar1表示芳香族基，R1～R5分别独立地表示氢原子或1价的有机基团，R4与R5可以相互键合而形成环，n表示1以上的整数。 |
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| 搜索关键词： | 感光性 树脂 组合 固化 制造 方法 半导体器件 | ||
【主权项】：
1.一种感光性树脂组合物，其含有：具有下述通式(A)所表示的阳离子部及具备自由基引发能力的阴离子部的化合物；含杂环聚合物前体；及自由基聚合性化合物；所述含杂环聚合物前体是指能够通过加热产生环化反应而形成含杂环聚合物的聚酰亚胺前体或聚苯并噁唑前体，[化学式1]![]()
通式(A)中，Ar1表示芳香族基，R1～R5分别独立地表示氢原子或1价的有机基团，R4与R5相互键合而形成环或不相互键合，n表示1以上的整数。
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