[发明专利]针对由石墨构成的PECVD舟皿的保护层

摘要

本发明涉及一种针对由石墨构成的PECVD舟皿的经改进的保护层，PECVD舟皿尤其是在光伏工业中用于容纳晶圆以及用于在PECVD涂覆设备中传输晶圆或将晶圆传输穿过PECVD涂覆设备。通过本发明应提供如下针对PECVD舟皿的保护层，利用该保护层能够实现在硅基底上制备出更好且更均质的抗反射层。这通过如下方式来实现，即，由石墨构成的PECVD舟皿带有能导电的硬质材料涂覆部，该能导电的硬质材料涂覆部由氮化钛和/或由碳化钛和/或由碳化硼(B₄C)构成。

主权项

1.一种针对由石墨构成的PECVD舟皿的保护层，所述由石墨构成的PECVD舟皿用于容纳晶圆以及用于在PECVD涂覆设备中传输所述晶圆或将所述晶圆传输穿过PECVD涂覆设备，其特征在于，所述由石墨构成的PECVD舟皿配设有能导电的硬质材料涂覆部，所述能导电的硬质材料涂覆部至少包含碳化硼(B4C)。